Lobster185Z340D-T2X0-C 웨이퍼 로봇

유형

두 무장

응용 사양

~ 300

정격 페이로드

2KG

자유의 정도

4

동작 범위

리프팅 축 (Z)

340mm

회전 축 (T)

340deg

스트레칭 축 (R)

360mm

최대 속도

리프팅 축 (Z)

400 mm/s

회전 축 (T)

260deg/sec

스트레칭 축 (R)

1500 mm/s

특징

1) 청정실 환경.

2) 로봇 팔 길이: 135mm; 185mm.

3) 2 무장 구조는 웨이퍼 교체의 작동 시간을 단축합니다.

4) 위에 놓여 있거나 기울어지면 웨이퍼가 있는지 감지하기 위해 센서를 매핑합니다.

5) 사양 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.

위치 조정 정확도

± 0.1mm

누수율

-

청결

클래스 100

인터페이스

I/O 인터페이스

4 구성 가능한 디지털 입력;

4 개의 구성 가능한 디지털 출력;

8 일반 디지털 입력;

8 일반 디지털 출력;

(재 확장 가능한 8 디지털 입력/출력).

이더넷

1

USB

2

RS232/RS485

1

통신 프로토콜

Modbus-RTU/TCP, 소켓

팔 길이 (R)

185mm

수직 스트로크 (Z)

340mm

기계 테이블 높이 (H)

605mm

액추에이터 길이 (L)

수요 기반

테이블에서 스트로크의 다운 위치까지의 높이 (H)

250mm