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Lobster200Z300S-T0X5-C 웨이퍼 로봇

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wafer handling robot

랍스터 시리즈 200Z300S-T0X5 웨이퍼 핸들링 로봇은 0.5 kg의 속도 페이로드를 가진 단일 무장 웨이퍼 이송 로봇입니다. 그것은 매우 높은 정확도, 유연성 및 안전성을 가지고 있습니다.

사양 Lobster200Z300S-T0X5-C 웨이퍼 로봇


모델

Lobster200Z300S-T0X5-C

유형

한 무장

응용 사양

~ 300

정격 페이로드

0.5KG

자유의 정도

3

동작 범위

리프팅 축 (Z)

300mm

회전 축 (T)

340deg

스트레칭 축 (R)

400mm

최대 속도

리프팅 축 (Z)

400 mm/s

회전 축 (T)

260deg/sec

스트레칭 축 (R)

1700 mm/s

특징

1) 청정실 환경.

2) 로봇 팔 길이: 200mm.

3) 전체 축은 고속 취급의 요구를 충족시키기 위해 서보 모터를 채택합니다.

4) 위에 놓여 있거나 기울어지면 웨이퍼가 있는지 감지하기 위해 센서를 매핑합니다.

5) 사양 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.

위치 조정 정확도

± 0.1mm

누수율

-

청결

클래스 100

인터페이스

I/O 인터페이스

4 구성 가능한 디지털 입력;

4 개의 구성 가능한 디지털 출력;

8 일반 디지털 입력;

8 일반 디지털 출력;

(재 확장 가능한 8 디지털 입력/출력).

이더넷

1

USB

2

RS232/RS485

1

통신 프로토콜

Modbus-RTU/TCP, 소켓

팔 길이 (R)

200mm

수직 스트로크 (Z)

300mm

기계 테이블 높이 (H)

620mm

액추에이터 길이 (L)

수요 기반

테이블에서 스트로크의 다운 위치까지의 높이 (H)

128mm



Lobster200Z300S-T0X5-C 웨이퍼 로봇의 특징

  • 단일 무장;

  • 탑재량은 0.5 kg입니다.

  • 3-자유도;

  • 재배치 정확도는 ± 0.1 mm에 도달합니다.

  • 청결은 Class100 에 도달합니다.


Lobster200Z300S-T0X5-C 웨이퍼 로봇의 기술적인 그림

Lobster200Z300S-T0X5-C 웨이퍼 로봇의 기술적인 그림

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