랍스터 시리즈 200Z300S-T0X5-V 웨이퍼 핸들링 로봇은 고급 웨이퍼 핸들링 장비를 갖춘 단일 무장 웨이퍼 이송 로봇입니다. 0.5 kg의 속도 탑재량을 가진 백신 모델입니다. 그것은 매우 높은 정확도, 유연성 및 안전성을 가지고 있습니다.
모델
Lobster200Z300S-T0X5-V
유형
한 무장
응용 사양
~ 300
정격 페이로드
0.5KG
자유의 정도
3
동작 범위
리프팅 축 (Z)
300mm
회전 축 (T)
340deg
스트레칭 축 (R)
400mm
최대 속도
300 mm/s
400deg/sec
700 mm/s
특징
1) 진공 환경.
2) 로봇 팔 길이: 200mm.
3) 직접 드라이브, 컴팩트 한 구조
4) 위에 놓여 있거나 기울어지면 웨이퍼가 있는지 감지하기 위해 센서를 매핑합니다.
5) 사양 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.
위치 조정 정확도
± 0.1mm
누수율
1*10E-6 Pa
청결
ISO 클래스 1
인터페이스
I/O 인터페이스
4 구성 가능한 디지털 입력;
4 개의 구성 가능한 디지털 출력;
8 일반 디지털 입력;
8 일반 디지털 출력;
(재 확장 가능한 8 디지털 입력/출력).
이더넷
1
USB
2
RS232/RS485
통신 프로토콜
Modbus-RTU/TCP, 소켓
팔 길이 (R)
200mm
수직 스트로크 (Z)
150mm
기계 테이블 높이 (H)
868mm
액추에이터 길이 (L)
수요 기반
테이블에서 스트로크의 다운 위치까지의 높이 (H)
120mm
단일 무장; 페이로드는 0.5 kg입니다.
3-자유도;
재배치 정확도는 ± 0.1 mm에 도달합니다.
청결은 ISO Class1 에 도달합니다.
산업용 로봇 가격 받기