Lobster200Z300S-T0X5-V 웨이퍼 로봇

유형

한 무장

응용 사양

~ 300

정격 페이로드

0.5KG

자유의 정도

3

동작 범위

리프팅 축 (Z)

300mm

회전 축 (T)

340deg

스트레칭 축 (R)

400mm

최대 속도

리프팅 축 (Z)

300 mm/s

회전 축 (T)

400deg/sec

스트레칭 축 (R)

700 mm/s

특징

1) 진공 환경.

2) 로봇 팔 길이: 200mm.

3) 직접 드라이브, 컴팩트 한 구조

4) 위에 놓여 있거나 기울어지면 웨이퍼가 있는지 감지하기 위해 센서를 매핑합니다.

5) 사양 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.

위치 조정 정확도

± 0.1mm

누수율

1*10E-6 Pa

청결

ISO 클래스 1

인터페이스

I/O 인터페이스

4 구성 가능한 디지털 입력;

4 개의 구성 가능한 디지털 출력;

8 일반 디지털 입력;

8 일반 디지털 출력;

(재 확장 가능한 8 디지털 입력/출력).

이더넷

1

USB

2

RS232/RS485

1

통신 프로토콜

Modbus-RTU/TCP, 소켓

팔 길이 (R)

200mm

수직 스트로크 (Z)

150mm

기계 테이블 높이 (H)

868mm

액추에이터 길이 (L)

수요 기반

테이블에서 스트로크의 다운 위치까지의 높이 (H)

120mm