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웨이퍼 처리 로봇

지능형 고속 병렬 델타 로봇의 선구적인 기술을 기반으로 Robotphoenix는 단일 플랫폼 및 이중 플랫폼의 새로운 4-DOF 병렬 로봇을 발명했습니다. 다중 폐쇄 루프 병렬 메커니즘에서 더 큰 스윙 각도와 더 높은 출력 속도를 실현하기 위해 병목 현상을 뚫었습니다. 듀얼 플랫폼 로봇 각도는 최소 ± 180 ° 에 도달 할 수 있으며 0.1kg 탑재량 미만에서는 표준 도어 프레임 모양의 궤도에서 가장 빠른 주행 비트가 0.28 에 도달 할 수 있습니다. 최대 가속도는 15g 입니다.

웨이퍼 취급 로봇의 다른 유형

Lobster200Z300S-T0X5-C 웨이퍼 로봇

  • 한 무장 로봇; 팔 길이 200mm;

  • 페이로드 0.5kg;

  • 위치 조정 정확도 ± 0.1mm. 그것의 청결은 대기 응용 분야에 적합한 클래스 100 도달합니다.

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Lobster185Z340D-T2X0-C 웨이퍼 로봇

  • 두 무장 로봇; 팔 길이 185mm;

  • 탑재량 2kg;

  • 위치 조정 정확도 ± 0.1mm. 그것의 청결은 대기 응용 분야에 적합한 클래스 100 도달합니다.

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Lobster200Z300S-T0X5-V 웨이퍼 로봇

  • 한 무장 로봇; 팔 길이 200mm;

  • 페이로드 0.5kg;

  • 위치 조정 정확도 ± 0.1mm. 그것의 청결은 진공 환경에 적합한 ISO Class1 에 도달합니다.

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특정 환경 요구를위한 웨이퍼 처리 로봇

1

Lobster200Z300S-TOX5-C 1 무장 웨이퍼 핸들링 로봇 및 Lobster185Z340D-T2XO-C 2 무장 웨이퍼 이송 로봇은 대기 응용에 적합하다.

2

Lobster200Z300S-TOX5-V 한 무장 웨이퍼 핸들링 로봇은 진공 환경에 적합합니다.

웨이퍼 처리 로봇의 특징

웨이퍼 처리 로봇의 특징
웨이퍼 처리 로봇의 특징

에 의해 자체 개발 된 웨이퍼 처리 로봇로봇 피닉스대략 20μm 의 다른 유사한 제품에 비해 더 높은 정확도에 도달하는 3μm 의 위치 결정 정확도를 달성한다. 랍스터 시리즈 웨이퍼 핸들링 로봇은산업용 로봇 판매단일 무장, 이중 무장 및 진공 처리 모델을 포함하며 다양한 반도체 웨이퍼 처리 시나리오에 사용할 수 있습니다.

웨이퍼 처리 로봇 비디오 라이브러리

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산업 로봇 솔루션 경험
  • 01
    자동 포장 솔루션
  • 02
    자동 정렬 솔루션
  • 03
    자동 정렬 솔루션
  • 04
    병 풀림 솔루션
  • 05
    뚜껑 신청자 솔루션
  • 06
    조립 로봇 솔루션
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